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1、洁净度100级:大于等于0.5μm的尘粒数大于350粒/m3(0.35粒/L)到小于等于3500粒/m3(3.5粒/L)，大于等于5μm的尘粒数为0。
2、≥0.5μm；0.35粒/L<尘粒数≤3.5粒/L≥5μm；尘粒数=0洁净度1000级:大于等于0.5μm的尘粒数大于3500粒/m3(3.5粒/L)到小于等于35000粒/m3(35粒/L)，大于等于5μm的尘粒数小于等于300粒/m3(0.3粒/L)。
3、≥0.5μm；0.35粒/L<尘粒数≤3.5粒/L≥5μm；尘粒数=0≥0.5μm；3.5粒/L<尘粒数≤35粒/L≥5μm；尘粒数≤0.3粒/L洁净度10000级:大于等于0.5μm的尘粒数大于35000粒/m3(35粒/L)到小于等于350000粒/m3(350粒/L)，大于等于5μm的尘粒数大于300粒/m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒/m3(3粒/L)。
4、洁净度100000级:大于等于0.5μm的尘粒数大于350000粒/m3(350粒/L)到小于等于3500000粒/m3(3500粒/L)，大于等于5μm的尘粒数大于3000粒/m3(3粒/L)到小于等于30000粒/m3(30粒/L)。
5、洁净度300000级:大于等于0.5μm的尘粒数大于3500000粒/m3(3500粒/L)到小于等于10500000粒/m3(10500粒/L)，大于等于5μm的尘粒数大于30000粒/m3(30粒/L)到小于等于90000粒/m3(90粒/L)≥0.5μm；3500粒/L<尘粒数≤10500粒/L≥5μm；尘粒数≤90粒/L。
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